洁净室火灾危害预防及处理：
警报设备：
a. 装置位置：
1、高度：洁净室内部高度通常较一般建筑为大，在选用探测器时应将天花板高度考虑在内。
2、通风换气设备：装设侦烟式探测器时，应设于烟雾流动必经途径，装设感热式探测器时，应设于易蓄热处，因此通风换气设备之出风口或回风口，应注意与探测器保持一定距离，方能迅速感应及动作。
3 、层流现象：洁净室内因换气频繁，平均约六秒钟席卷整个空间一次，同时间单位内的空气流动量高出一般建筑物甚多，因此空气流动的层流现象应考虑在内，以避免探测器无法有效测知火灾，形同虚设。
b.种类：火焰式探测器、侦烟式探测器、极早期探测装置，洁净室防灾时，重点在于早期发现，因此灵敏度越高越好，以期灾害发生初期便能反应，甚至在尚未发火前便能测知有发火的可能性，如极早期探测装置便是以此为理念的设计。
洁净空调系统设计
3.1 洁净冷负荷计算
夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2，1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备，发热量较大)。
3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU+DCU+FFU的空调方式，无尘车间施工，洁净房空调及气流组织形式见图1。
其中，FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit)，另外，新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段，表冷段，中效段，加热段(厂家有热水系统，采用热盘管)，加湿段(厂家有蒸气)，高段。其中，空气清洗段厂家先要求预留，以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制，保持洁净房的正压和人员新风需求。
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA） 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，000级。
优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
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