天花吊件制作安装：
1）确定吊筋与楼板的挂点。
2）根据所确定的所有挂点，计算出所用吊筋（圆钢制作）的大小，根据挂点之间距离，确定主龙骨（C型钢制作）的型号，以保证天花荷载达到规范要求。
3）吊筋、主龙骨加工制作。
4）吊筋、主龙骨、T型铝制龙骨安装。
5）严格控制吊筋与楼面的连接，无尘车间价格，确保垂直、不脱落，主龙骨及T型龙骨安装水平。
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA） 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，000级。
优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
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