在净化车间装修过程中，必须随时清扫灰尘，对隐蔽空间如吊顶和夹墙内部等做好清扫记录。对已安装过滤器的房间，不得进行有粉尘作业。应保护已完成的装饰工程表面，不得因撞击、、敲打、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。条密封胶嵌固时，应将基槽内的杂质、污油剔除干净，并保持表面干燥。
塑料板材或卷材面层铺贴前应预先按规格大小、厚薄分类，板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂，表面赶平，不得漏涂或残存空气。净化车间装修现场应保证良好的通风和照明，对于改建工程，应查明和切断原有电源及、和有毒气体管线后方可施工，对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有安全防护措施。净化车间装修临时设置的设备入口不用时应封闭，防止尘土杂物进入。
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA） 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，000级。
优点：构造简单、系统建造成本低，无尘车间价格，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
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