风系统风系统流程图
系统采用的是全新风空调箱+FFU 系统：
<1>全新风空调箱结构
<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即风机和过滤器
千级区过滤器采用HEPA，过滤效率99.997%，百级区过滤器采用ULPA，洁净室哪家好，过滤效率99.9995%。
水系统水系统流程图
冰水系统分为一次侧和二次侧.
一次侧冰水水温7-12 度，供给空调箱和风机盘管，二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路，之间由板式换热器连接.
板式换热器原理
干盘管:不结露的盘管，因净化车间温度在22 度，其温度12 度左右，故7 度冰水不能直接进入净化车间，所以进干盘管的冰水温度在12-14 度.
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净化车间主要的作用是控制产品所接触的大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。净化车间大部分以工业铝材做为框架，采用风机虑网机组送风，顶部盖着密缝盲板、四周采用防静的电垂帘，舟山洁净室，形成一个密缝区。内部净化级别可达到100级-10万级，适用于车间内局部对洁净度和严格要求的区域（如流水线作业区的高度产品组装区）。
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