风系统风系统流程图
系统采用的是全新风空调箱+FFU 系统：
<1>全新风空调箱结构
<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即风机和过滤器
千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%。
水系统水系统流程图
冰水系统分为一次侧和二次侧.
一次侧冰水水温7-12 度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.
板式换热器原理
干盘管:不结露的盘管,因净化车间温度在22 度,其温度12 度左右,故7 度冰水不能直接进入净化车间,所以进干盘管的冰水温度在12-14 度.
洁净生产区应生产流程及相应洁净用房等级要求合理布局。生产线布局不应造成往返交叉和不连续。
生产区内相互联系的不同车间之间应符合品种和工艺的需要，必要时应有缓冲室等防止交叉污染的措施，缓冲室面积不应小于3平方米。
原料前处理不得与成品生产使用同一洁净区域。
生产车间内划出与生产规模相适应的面积和空间作为物料、中间产品、待验品和成品的暂存区，并应严防交叉、混淆和污染。
检验室宜独立设置，对其排气和排水应有妥善处理措施。对产品的检验过程有空气洁净要求的，应设洁净工作台。
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