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按洁净室的气流流型划分

国内外通常以气流流型划分洁净室类型。

（一）单向流洁净室

单向流洁净室的气流是从室内送风一侧平行、直线、平稳地流向相对应的回风侧，它是将室内污染源散发出的污染物在未向室内扩散之前就被洁净空气压出房间，送入的洁净空气对污染源起到隔离作用。单向流洁净室可分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。

（二）非单向流洁净室（乱流洁净室）

非单向流洁净室(乱流洁净室)的气流以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流。适合用这种洁净室的场合洁净度要求一般。这类洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染物排出，达到平衡。要保证稀释作用很好地实现，的一点是室内气流扩散得越快越均匀越好。

（三）混合流（局部单向流）洁净室

混合流(局部单向流)洁净室既有单向流又有非单向流。

送风量大

洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。

工艺设备的发热情况随不同的生产工艺不同而不同，有些工艺设备是高发热设备，就需要较多冷负荷来抵消。总之，洁净厂房空调系统具有排风量大、送风量大、工艺设备发热量大、阻力大和风机静压高的特点，这些共同造就了洁净厂房空调系统的高耗能。

自然洁净室和单纯空调房间相比，单位面积建设费用和能耗要大得多。但洁净净化空调系统的节能问题，在国内尚未引起足够的重视。但随着信息产业向我国的战略性转移，洁净厂房的高耗能、节能问题也成为能源紧缺的我国一个不可回避的问题。目此，洁净室与清洁厂房的空调系统的节能就有着积极的意义。