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浙江鑫源净化设备有限公司

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洁净厂房空调系统特点

洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,近英特尔公司更是推出了采用32


nm线宽的处理器芯片,把生产环境的洁净度控制推向了。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。

 同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24

h运行,这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。


  净化工程应用领域非常广泛,一般对环境要求比较严格、对空气洁净度要求高的企业都需要净化工程,如医学、手术室、、药品、食品、化妆品 、电子产品、需要QS认证或GMP认证的行业,至于半导体、光电子、精密制造、生物工程、航天航空这些行业就更有必要了。而且根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。


  据了解,目前净化级别高的当属航天航空的航空仓,级别都在1级,航天航空因属于特殊领域,需要的净化空间相对较小,作为对级别要求也非常严肃的生化实验室则需要面积较大的空间。


 温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力,温度测试应在净化车间进行调试,气流均匀性测试完成,并在净化空调系统连续运行24H以上后进行。净化车间的温度测试有功能温度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用;一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。

  洁净车间功能温度测试,应将洁净工作区划分为等面积的栅格,每个分格面积不超过100平方米或与建设方协商确定,每格测点1个以上,每个房间测点至少2个。测试高度应为工作面高度,距的吊顶、墙面和地面不小于300MM,并应考虑热源等的影响,测量时间应至少1H,并至少6min测量一次,读数稳定后做好记录。净化车间一般温度测试的测点,每个温度控制区或每个房间1个测点,测试点高度宜为工作面高度,测量时间应至少1H,并至少6min测量一次,读数稳定后做好记录。