按洁净室的气流流型划分
国内外通常以气流流型划分洁净室类型。
（一）单向流洁净室
单向流洁净室的气流是从室内送风一侧平行、直线、平稳地流向相对应的回风侧，它是将室内污染源散发出的污染物在未向室内扩散之前就被洁净空气压出房间，送入的洁净空气对污染源起到隔离作用。单向流洁净室可分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。
（二）非单向流洁净室（乱流洁净室）
非单向流洁净室(乱流洁净室)的气流以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流。适合用这种洁净室的场合洁净度要求一般。这类洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染物排出，达到平衡。要保证稀释作用很好地实现，的一点是室内气流扩散得越快越均匀越好。
（三）混合流（局部单向流）洁净室
混合流(局部单向流)洁净室既有单向流又有非单向流。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
在净化车间装修过程中，必须随时清扫灰尘，对隐蔽空间如吊顶和夹墙内部等做好清扫记录。对已安装过滤器的房间，不得进行有粉尘作业。应保护已完成的装饰工程表面，不得因撞击、、敲打、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。条密封胶嵌固时，应将基槽内的杂质、污油剔除干净，并保持表面干燥。
塑料板材或卷材面层铺贴前应预先按规格大小、厚薄分类，板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂，表面赶平，不得漏涂或残存空气。净化车间装修现场应保证良好的通风和照明，对于改建工程，应查明和切断原有电源及、和有毒气体管线后方可施工，对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有安全防护措施。净化车间装修临时设置的设备入口不用时应封闭，防止尘土杂物进入。
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