洗手消毒设施 车间入口处要设置有与净化车间内人员数量相适应的洗手消毒设施，洗手龙头所需配置的数量，无尘车间施工，配置比例应该为每 10 人1 个，200 人以上每增加20人增设1个。洗手龙头必须为非手动开关，洗手处须有皂液器，并有热水供应，出水为温水。 盛放手消毒液的容器，在数量上也要与使用人数相适应，并合理放置，以方便使用。干手用具必须是不会导致交叉污染的物品，如一次性纸巾，消毒毛巾等。 在净化车间内适当的位置，应安装足够数量的洗手，消毒设施和配备 相应的干手用品，以便工人在生产操作过程中定时洗手，消毒，无尘车间，或在弄脏手后能及时和方便地洗手。 从洗手处排出的水不能直接流淌在地面上，要经过水封导入排水管。
卫生间 为了便于生产卫生管理，与净化车间相连的卫生间，不应设在加工作业区内，可以设在更衣区内。卫生间的门窗不能直接开向加工作业区，卫生间的墙面，地面和门窗应该用浅色，易清洗消毒，耐腐蚀，不渗水的材料建造，并配有冲水，无尘车间哪家好，洗手消毒设施，窗口有防虫蝇装置。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，无尘车间多少钱，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
按洁净室的气流流型划分
国内外通常以气流流型划分洁净室类型。
（一）单向流洁净室
单向流洁净室的气流是从室内送风一侧平行、直线、平稳地流向相对应的回风侧，它是将室内污染源散发出的污染物在未向室内扩散之前就被洁净空气压出房间，送入的洁净空气对污染源起到隔离作用。单向流洁净室可分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。
（二）非单向流洁净室（乱流洁净室）
非单向流洁净室(乱流洁净室)的气流以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流。适合用这种洁净室的场合洁净度要求一般。这类洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染物排出，达到平衡。要保证稀释作用很好地实现，重要的一点是室内气流扩散得越快越均匀越好。
（三）混合流（局部单向流）洁净室
混合流(局部单向流)洁净室既有单向流又有非单向流。
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